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A test structure to characterize transparent electrode array platform with TFTs for bio-chemical applications

机译:一种用于生物化学应用的带有TFT的透明电极阵列平台的特性测试结构

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摘要

Test structures are proposed to characterize Thin-Film-Transistors in array that control a transparent electrode array platform, used for bio-chemical applications. The structures are post-processed electrodes that connect the source terminals of multiple TFTs. This characterization is essential to determine the limits, in terms of sensitivity and operation frequency in the case of impedance measurements on biological cells, as well to investigate other possible biological applications.
机译:提出了测试结构来表征阵列中的薄膜晶体管,以控制用于生物化学应用的透明电极阵列平台。该结构是连接多个TFT的源极端子的后处理电极。对于在生物细胞上进行阻抗测量的情况下,就灵敏度和操作频率而言,此特性对于确定极限值以及研究其他可能的生物学应用至关重要。

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