System Development Center, Tokyo Electron Ltd., 30-7 Sumiyoshi-cho, 2-chome, Fuchu City, 183-8705, Japan;
Cu-filled TSV; machine learning; nano-focus X-ray;
机译:基于X射线成像的硅通孔无损在线检测及其不确定度预算
机译:3D互连:使用X射线显微镜观察各种温度下填充铜的硅通孔(TSV)中引起的挤压和空隙
机译:使用基于同步加速器的微束X射线衍射对硅通孔中的铜残余应力进行无损测量
机译:纳米聚焦X射线显微镜用空隙填充铜填充过硅通孔型剖面的无损检测及依赖性估计
机译:用于三维芯片堆叠应用的填充铜的硅通孔的制造和可靠性测试。
机译:通过分析纳米聚焦X射线显微镜的投影图像,通过硅通孔的简单3D测量