Department of EECS, Northwestern University, USAc;
3D IC; TSV (through silicon via); bi-metallic thermocouple; thermal monitoring;
机译:将基于热电偶的传感器集成到3D IC中的端到端分析
机译:超声波传感器和Kinect传感器的集成,可实现人员区分和3D定位
机译:传感器和电子设备的3D垂直集成
机译:将热电偶传感器集成到3D IC中
机译:CMOS技术的微加工宽带热电偶微波功率传感器。
机译:射频磁控溅射碳化硅和钨hen基薄膜热电偶保护涂层的热电特性
机译:用于先进半导体辐射传感器和读出电子设备的3D垂直集成技术