Department of Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, CA 94720;
fatigue; microscale material characterization; resonator; polysilicon; microelectromechanical systems (MEMS);
机译:新型MEMS镊子,用于在微尺度上表征软材料的粘弹性
机译:使用具有两轴驱动器和力传感器的MEMS微型夹具对软材料进行微型压缩和剪切测试
机译:具有表面处理误差的静电MEMS谐振器的静态和动态力学行为
机译:与MEMS谐振器的微观材料行为的表征
机译:相变材料和氮化铝轮廓模式记忆谐振器的单片集成,用于高度可重构的射频系统。
机译:新型MEMS镊子用于微尺度软材料的粘弹性表征
机译:使用相变材料可切换铝氮化物MEMS谐振器