火工序列内置MEMS安全隔离装置原理研究

摘要

本文通过调研、分析国内外MEMS引信技术在爆炸序列和直列式火工序列中的研究成果,基本掌握了MEMS引信安全起爆系统的技术原理.在此基础上,重点研究直列式火工序列内部集成MEMS安全隔离装置的基本原理,通过合模拟滑动隔板的冲击片雷管起爆试验及微执行器的对比与分析,设计得到一种由5组V型梁阵列组成的电热微执行器结构,完成了微执行器结构的SEM分析,并在此基础上进行了位移放大机构设计和FEM仿真.试验与仿真结果表明:在18V输入条件下,微执行器的工作温度约为1200℃,输出位移达到290μm,满足输出位移大于250μm的技术要求.