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郑志霞;
中国半导体行业协会;
微电子学; 石英晶体; 等离子刻蚀; 双重掩蔽层; 二氧化硅;
机译:通过深硅沟槽刻蚀条件实现高深宽比
机译:高深宽比深亚微米的刻蚀轮廓控制A-Si栅刻蚀
机译:通过硅过孔实现高深宽比的原子层沉积
机译:聚四氟乙烯的热辅助离子束刻蚀-MEMS高深宽比刻蚀的新技术
机译:高深宽比硬质X射线防区板的制备和表征与超纳米晶金刚石模具。
机译:利用廉价的湿法刻蚀制造台面型石英晶体谐振器的实验研究
机译:高深宽比深亚微米刻蚀轮廓控制-硅栅刻蚀
机译:人体和自然噪声源中宽吻海豚的听觉掩蔽模式。
机译:金属辅助化学刻蚀,可制造高深宽比的直硅纳米柱阵列,用于分选应用
机译:通过使用临时多路复用工艺和射频涡调制技术对高深宽比soi结构进行刻蚀
机译:在半导体器件中刻蚀高深宽比沟槽的方式
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