对典型的硅基力敏传感器的特性评价

摘要

对三种典型的石丰基力敏传感器，硅压阻、硅电容、硅谐振传感器的基本性能、稳定性、性价比、批量生产工艺等性能进行了分析。最后对其综合性能进行比较，提供客户选用时参考。