高耐温精密冷反光镜研制

摘要

高耐温精密冷反光镜是应用于影象光学系统的一种常用光学元件。这种反光镜具有高耐温性、反射可见光、透射红外光的使用要求。本文介绍了采用低膨胀系数的高耐温性基底材料，利用电子束热蒸发PVD镀膜方法及IAD离子辅助沉积工艺，制备出了可见光光谱平均反射率高于95％、红外光光谱平均透过率高于85％，膜层耐温性能达到450℃高温下膜层无异常的反光镜产品，并实现了批量生产。