扫描电镜阴极钨灯丝的失效分析

摘要

两种阴极钨灯丝在某扫描电镜电子枪上的使用寿命显著不同,A钨灯丝使用寿命一般可达100小时以上,而B钨灯丝使用寿命一般仅约20小时左右.本文主要从阴极钨灯丝的外形结构、单位表面功率、表面形貌等方面进行对比分析,结果表明,阴极钨灯丝早期失效的主要原因是结构设计不合理、单位表面功率偏大,最终导致早期剥蚀、熔断,使用寿命明显缩短.