AFM检测模块中PSD信号处理电路设计

摘要

为提高AFM对基底的扫描速度和成像分辨率，选用了一种新型的位置敏感器件，设计了一套基于高速差分放大器的PSD信号采集模块，该模块具有体积小、结构合理、受地面噪声干扰小等优点。为便于分析，实验中，用数字源表提供单路电流，将PSD信号采集模块的差分输出与单端输出结果进行比较，同时对实验数据做频谱分析与线性度分析，实验证明：基于高速差分放大器的差分输出电路满足AFM对PSD模块在带宽、噪声、线性度等设计方面的要求。