硅太阳电池光致发光检测中激光系统的匀化设计方法研究

摘要

硅太阳电池光致发光检测方法能够快速检测出硅材料缺陷.该检测方法使用光纤激光器发出的激光作为激发光源.然而光纤激光器发出的激光能量呈高斯分布,并不均匀,这将导致硅材料产生的荧光强度分布也不均匀,使得采集到的图像明暗变化非常明显,对检测结果带来很大的影响.因此,激光系统的匀化设计是光致发光检测电池缺陷的重要前提和基础.本文提出了在硅太阳电池及硅片的光致发光检测中利用梯形反射圆筒校正激光非均匀性的方法,并通过MATLAB 对该方法中的光路及校正前后的激光分布曲线进行了仿真和分析.仿真结果表明,该方法用于激光非均匀性的校正是完全具有可行性的.