微电子机械系统展望及建议

摘要

本文首先介绍了微电子机械系统市场，其次介绍了全球MEMS市场和展望，然后介绍了MEMS的军事应用功能，MEMS技术对武器平台的优化；战场无线传感器网络等，提出微机电系统MEMS发展的建议，发展能批量生产的智能模块/智能尘；开发廉价高效微能源；发展MEMS生物传感系统等。