加工介质对微细电火花线切割加工工艺过程的影响

摘要

微细电火花线切割加工是实现微结构、微器件加工的有效方式.工作介质对微细电火花线切割加工性能会产生不同影响,本文开展气中与煤油介质中微细电火花线切割加工对比实验,研究气压、开路电压以及电容对微细电火花线切割加工速度、加工精度和表面质量的影响规律.研究结果表明,气中微细电火花线切割加工与煤油介质中工艺规律基本相同.整体而言,气中加工速度低于液中加工速度,但低压时与液中加工速度基本相同;气中切槽宽度大于液中槽宽;气中加工表面优于煤油介质中加工表面,融滴、微裂纹更小,重铸层面积更小.