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一种TEN真空系统的控制方法分析

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为了满足透射电子显微镜观测对真空度的需求,分析了一种TEM真空系统的控制方法,针对循环抽气震荡的现象进行了分析,给出了减少震荡的一种控制方法.这对于类似真空系统的控制给出了借鉴和参考.

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来源
《北京真空学会2017真空学术论坛》|2017年|78-84|共7页
会议地点北京
作者
Dong Quanlin; 董全林; ZhuTianyu; 朱天宇;
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作者单位

北京真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空系统（机组）;
关键词
TEM真空系统; 循环抽气震荡现象; 控制方法; 透射电子显微镜;

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