BNU400离子注入机IBIL测量装置的建立及其应用

摘要

通过改造BNU400离子注入机靶室以及建立相应的离子束激发发光(IBIL)测量装置,可以在离子注入过程中实时地对样品进行IBIL分析.在室温下,对180keV质子轰击氧化锌单晶IBIL进行了测量,观察到了DBE(深能级发射)峰和NBE(近带边发射)峰.通过对氧化锌IBIL谱的高斯分峰,NBE峰可分为峰中心分别为3.20eV、3.25eV的两个峰,DBE峰可分为峰中心为1.79eV、2.19eV的两个峰.分峰结果与采用光致发光、热释发光研究者的结果一致,这为研究氧化锌发光提供了一种新方法.