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光刻技术制作光栅以及在光学实验中的应用

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本文利用光刻技术和各种光栅模版自行设计制作不同规格类型的光栅,并研究其性能改善方法,在制作好的光栅基础上进行衍射率估测,双光栅测折射率,空间滤波假彩色编码等检验光刻光栅的性能.

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来源
《第七届全国高等学校物理实验教学研讨会》|2012年|569-574|共6页
会议地点成都
作者
ZHANG Li-jun; 张李俊; XU Chao; 徐超; XU Jia-wen; 许嘉文; ZHANG Zeng-ming; 张增明; SUN La-zhen; 孙腊珍; WANG Zhong-ping; 王中平;
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作者单位

中国高等学校实验物理教学研究会;

教育部高等学校物理学与天文学教学指导委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类干涉与衍射;
关键词
衍射光栅; 光学实验; 光刻技术;

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