一种光电式微位移测量装置

摘要

目前在直线位移测量领域内光栅尺是应用较为广泛的具有代表性的传感器，但由于易受码盘刻划、温度以及装调工艺等因素的影响，很难在微位移测量领域内发挥其可靠性强，精度高，结构简单等特点。所以在光栅尺的基础上设计了一种体积小，并以数字形式输出的高分辨力，高精度的微位移测量装置。经实验证明本系统在5毫米测量范围内分辨力达到0.2 3微米，精度达到0.6微米。大大满足了微位移测量要求。