叉指状微小力装置位置控制误差对输出特性影响

摘要

为确定义指状微小力装置位置控制误差对输出结果影响,采用有限元分析方法对装置位置变化时输出微小力特性进行分析.通过比较装置极板位置在X、Y、Z方向六个自由度上发生独立运动及复合运动时,装置输出微小力变化规律,探讨装置位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响;并确定了各自由度上装置位置误差对输出微小力影响较小区间.结果表明,不同自由度上叉指状装置位置误差对装置输出结果影响程度不同;位置误差控制在一定范围内,对装置输出微小力影响较小.结果为简化电容式微小力源装置设计与制造提供了理论依据.