MEMS显示技术研究进展及发展趋势

摘要

MEMS具有体积小、重量轻、性能优异等特点,因此利用MEMS技术进行显示,可提升色域、降低功耗、缩短响应时间.本文从显示原理、关键器件结构、制备工艺等方面综述了数字光处理、干涉调制、数字微快门等MEMS显示技术,结果表明干涉调制在具有多稳态显示和无需光源等优点的同时,还可利用表面微机械加工工艺在玻璃衬底上形成,适合现有TFT产线工艺,因此需重点关注.