芴树脂在黑色光阻材料中的应用研究

摘要

本文在介绍芴树脂结构特性的基础上,重点研究了其对黑色光阻材料分散隐定性、显影形貌、解析度、耐热性等方面的改善作用.结果表明,采用芴树脂将有助于黑色光阻材料中炭黑的稳定分散,且显影后图形形貌好,解析度能达到5μm以内,同时耐热性大幅提升.