超声波辅助的超短激光微加工技术及新型光纤传感器制备

摘要

目前,超短激光打孔时,往往锥度过大,加工质量和效率低下,深宽比满足不了要求.为此,本项目提出了超声波辅助的飞秒激光复合微加工工艺.本项目主要研究内容包括:(1)超声波辅助的超短激光复合微加工机理;(2)超声波辅助装置的设计制造;(3)超声波复合微加工过程的控制规律与参数优化;(4)新型光纤传感器探头的微结构设计、制备;(5)新型光纤传感器探头的性能测试.