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基于贵金属纳米粒子等离子体共振耦合的微加工系统调平技术

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摘要

纳米加工的关键技术是实现加工平台纳米级的调平精度,现有的多种自动调平技术均未能满足这一精度要求.本文依据纳米粒子与金属薄膜之间耦合(LSP-SPP)的距离敏感性原理,提出了一种具有高空间分辨率的距离反馈模式,并发展了一种新型的纳米间隙耦合增强微加工系统调平技术.

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来源
《第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）》|2016年|433|共1页
会议地点沈阳
作者
王芳芳;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类高速流体加工设备及其加工;
关键词
微加工系统; 调平技术; 贵金属纳米粒子; 等离子体; 共振耦合;

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