基于假塑性金属纳米粒子流体的压缩式气压纳米压印研究

摘要

纳米压印技术是一种1×掩模板压入流体介质实现图形转移的方法,20年来因其高分辨率、高保真度、高产量、低成本等技术特点获得广泛关注.压印力的均匀性和介质流体对掩模板图形间隙的填充度是纳米压印技术关键的性能参数,利用气体压缩式施压方式具有高度的均匀性,而且避免了充气流产生的紊流、扰动对压印力均匀性影响,是对气体施压方式的优化.假塑性流体存在剪切力作用时,流体粘度变稀,更有利于介质对掩模板图案间隙的填充,提高图形转移保真度.本项目旨在获得气体压缩式施压和假塑性流体作为图形转移介质在纳米压印中的应用,为纳米压印新施压方法和新的图形转移介质提供基础理论和方法的指导.