微热管毛细结构制备技术

摘要

超大规模集成电路集成度高、可用散热面积小,芯片温度显著上升会严重影响其工作可靠性和使用寿命.传统吸液芯热管由于体积大易损坏,基于工质相变传热原理的微热管是解决芯片散热问题的有效途径.微热管的毛细结构是影响其传热能力的关键,在微热管毛细结构的制备方法上综述了国内外的研究现状,介绍了当前微热管毛细结构的制备方法,并展望了该领域的未来发展方向.