Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究

摘要

采用溶胶-凝胶法合成Al掺杂ZnO胶体，通过浸涂法在石英衬底上制备不同退火温度的ZAO薄膜。通过XRD、FT-IR、IR-2型红外辐射仪等手段对薄膜进行表征并研究不同工艺条件对薄膜红外性能的影响。结果显示，Al的掺杂并未改变ZnO的晶型结构，薄膜材料具有沿(002)晶面趋向性生长的特点。ZAO薄膜在可见光区具有高透过率，平均透过率在80％左右，在红外波段具有较高的透过率，所得到的ZAO薄膜在红外波段具有较低的发射率。