超薄反射镜的加工技术

摘要

利用应力重叠技术的方法，对超薄反射镜的加工工艺和方法进行了探讨研究。通过加工实例验证了应力重叠技术加工方法的可行性。利用干涉仪对加工的口径Φ00 mm，厚度为2.8 mm，曲率半径为3 000 mm的球面反射镜进行检测，检测结果为面形精度达到RMS=0.04λ，λ=632.8 nm)。该结果表明达到该超薄反射镜的面形精度达到面形主动调节的要求。从而该技术加工的超薄反射镜无论从厚径比以及面形精度，在超薄反射镜加工研究方面迈出跨越式的一步，为以后大口径展开式拼接单元镜的支撑调节打下必要的技术基础，为超薄反射镜的应用提供了保证。