Cu衬底上化学水浴法生长In2S3制备CuInS2薄膜

摘要

本文采用低成本的化学水浴法，在Cu衬底上制备了In2S3薄膜，再通过后期的热处理制备CIS薄膜。用XRD、SEM、EDS对制备的薄膜进行了表征，并比较了不同的热处理工艺得到的薄膜的差别。