椭圆缺陷轮廓的关键面积计算模型

摘要

在90nm和65nm技术节点,集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降低.为了提升随机成品率,关键面积的计算是关键.本文根据集成电路制造中真实缺陷的形状特征,提出椭圆缺陷轮廓线起水平布线导体/垂直布线导体的短路/开路的关键面积计算模型和夹角为θ的椭圆缺陷引起水平布线导体/垂直布线导体的短路/开路的关键面积计算模型.仿真实验表明了该模型比圆模型的精确性。该结果对版图优化设计和成品率精确估计具有重要意义.