W6+掺杂TiO2纳米材料化学吸附与氧敏特性研究

摘要

以TiCl3为钛源,采用溶胶-凝胶法制备W6+掺杂TiO2纳米粉体,经400°C低温烧结1h,即可得到以金红石相为主相的TiO2基氧敏材料。采用XRD、BET、TPD等手段对其进行表征、分析,结果表明W6+掺杂有利于形成以金红石相为主相的晶体结构,使样品的晶粒尺寸减小、比表面积增加,使氧敏特性提高,其中12％(摩尔分数)W6+/TiO2的氧气化学吸附量最大,敏感层表面对氧气的活性最高；在低工作条件(115°C)及1×10-4氧气下,W6+掺杂TiO2的厚膜型气敏元件氧敏特性得以明显提高,且掺杂12％(摩尔分数)W6+灵敏度最佳(S=16.5)。