基于数字微镜器件的显微镜照明调制系统

摘要

本文提出了一种基于空间光调制器--数字微镜器件(DMD)的柔性显微镜照明调制系统.该系统将传统的照明结构(如科勒照明)与数字微镜器件相结合，可将入射光调制成为预设的空间图形，并作为显微镜的光源.显微镜光源的强度、形状、分布、照明范围及照明时间等特性均可以通过计算机来对其进行精确控制.这一改进在生物技术及半导体光刻等领域有着良好的应用前景.