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熊继军; 毛海央; 张文栋; 徐栋; 郭涛;
中国微米/纳米技术学会;
中国仪器仪表学会;
中国机械工程学会;
复合量程微加速度计; 压阻式; 抗过载; 体硅工艺; 线性度; 传感器;
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