SOI材料在硅磁敏三极管制造中的应用

摘要

本文主要介绍将H<'+>离子注入到高阻单晶硅片后再与另一硅片键合并进行热处理形成SOI(silicon on insulator)材料.利用该SOI材料,在其SiO<,2>薄膜上面的硅薄膜上制造硅磁敏三极管,为硅磁敏三极管的制造提供一种新的工艺.