磁控弧光放电增强等离子体-活化反应离子镀方法制备立方氮化硼薄膜研究

摘要

该工作利用高真空中磁场控制的热电子弧光放电离化Ｎ〈，２〉，获得高离化度等离子体与电子枪蒸发硼配合建立磁控弧光放电增强等离子体－活化反应离子镀方法。