快速热处理技术在集成电路制造上的应用

摘要

该文主要介绍快速热处理（ＲＴＰ）技术，包括在高速双极ＩＣ的快速热退火（ＲＴＡ）、Ｔｉ金属与Ｓｉ形成低阻的ＴｉＳｉ〈，２〉接触同时，其上表面形成防止Ａｌ往Ｓｉ中渗透的阻挡层ＴｉＮ的ＲＴＰ，及ＥＥＰＲＯＭ隧道薄栅的快速热氧化（ＲＴＯ）、和用Ｎ〈，２〉Ｏ加固薄栅用的快速热氮化（ＲＴＮ）等方面的应用。