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徐义刚;
中国电子学会;
硅;
机译:用于改善高纵横比硅微加工的硼腐蚀停止辅助横向硅腐蚀工艺及其应用
机译:用于TMAH水溶液中单晶硅高精度厚度控制的电化学腐蚀停止技术研究:IPA:吡嗪溶液
机译:摩擦纳米光刻技术诱导的硅表面腐蚀停止
机译:使用合并的外延横向过度生长硅和SiO / Sub 2的薄硅膜的微机械技术/用于蚀刻停止
机译:硅异质结和叉指背接触式硅异质结太阳能电池的结工程和器件设计
机译:使用基于铟锡氧化物的硅和pn硅结的器件对基于大孔硅的光伏特性进行比较研究
机译:硅外延生长技术在高集成度半导体器件制造中的应用研究
机译:离子注入技术同时形成浅硅p-n结和浅硅化物 - 硅欧姆接触。
机译:P-N结腐蚀停止技术,用于半导体的电化学腐蚀
机译:使用异质结技术来增强耐腐蚀性能的气缸盖,能够在硫酸露点处提供增强的耐腐蚀性
机译:硅光伏技术用空穴阻挡硅-氧化钛异质结。
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