基于薄膜技术的石英探针设计与加工制造研究

摘要

为满足微波电路中低损耗的使用要求,基于石英基板设计了一款Ka频段石英基板微带探针,应用波导来进行能量传输.分析了该款探针作为波导与微带结构转换的电路设计原理及工艺设计方案.在明确设计结构、工艺方案的基础上,通过实现双面精准对位、改善膜层附着力、改善光刻条件、确保切割质量等方面对石英探针的加工制造进行控制.对探针实物的测试结果满足使用要求,具有良好的应用前景.