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磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究

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本文报道了五种磺酸肟酯类光产酸剂.并通过1HNMR谱、13CNMR、19FNMR及元素分析进行了表征.同时研究了它们的溶解性、热稳定性、紫外吸收特性及引发光聚合反应的动力学性能,结果表明这几种产酸剂适用于405nm紫激光成像体系中及其他光致成像抗蚀体系中.

著录项

来源
《中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会》|2013年|73-80|共8页
会议地点天津
作者
庞玉莲; PANG Yu-lian; 邹应全; ZOU Ying-quan;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类生产工艺;
关键词
磺酸肟酯类光产酸剂; 合成工艺; 结构表征; 性能评价;

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