首页> 中文会议>第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会 >基于金/锗纳米线肖特基结的光探测器

基于金/锗纳米线肖特基结的光探测器

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

将锗浓缩工艺和微纳加工工艺结合起来,制作了一种完全可控的锗纳米线探测器.器件结构如图1所示.在图1(a)中,两边的方形电极接触区尺寸为100×100μm2.图1(b)的中央正是锗纳米线,两边为采用电子束蒸发蒸镀的Ni/Au电极.

著录项

来源
《第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会》|2017年|67-68|共2页
会议地点厦门
作者
李毅; 张鹤; 赵向杰; 崔成聪; 夏金松;
展开▼
作者单位

厦门大学;

浙江大学;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光电器件、光电管;
关键词
锗纳米线光探测器; 锗浓缩工艺; 微纳加工工艺; 尺寸形貌;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于金/硅纳米线阵列肖特基结的自驱动式的可见-近红外光探测器性能研究 [J] . 洪清水 ,曹阳 ,孙家林 . 影像科学与光化学 . 2014,第006期
2. 高性能石墨烯-CdS_(x)Se_(1-x)纳米线轴向肖特基结探测器研究 [J] . 孙浚凯 ,胡心怡 ,郑斌杰 . 中央民族大学学报:自然科学版 . 2021,第4期
3. 基于硅微孔阵列自滤光肖特基二极管光探测器的研究 [J] . 张涛 ,于永强 . 电子制作 . 2021,第013期
4. 基于肖特基二极管的太赫兹准光探测器设计方法与成像性能研究 [J] . 李明迅 ,牟进超 ,郭大路 . 红外与毫米波学报 . 2018,第006期
5. 基于硅纳米线缺陷辅助隧穿肖特基二极管研究 [J] . 王志亮 ,张健 . 南通大学学报（自然科学版） . 2012,第001期
6. 微波功率锗硅肖特基异质结双极晶体管研究 [C] . 李平 . 第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 . 1997
7. 镍锗/锗肖特基结热稳定性与氧化锗/锗栅极堆垛缺陷行为研究 [A] . 袁思聪 . 2019

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号