CMOS工艺太赫兹成像系统研究综述

摘要

近十年,关于CMOS工艺太赫兹成像系统的研究广受关注,频出成果.本文概述了CMOS工艺太赫兹成像系统的研究进展,并针对现存问题展望了一些研究方向.本文还使用统一方法分析了太赫兹成像系统的原理和指标,并从检测方法、成像机理、器件类型三个方面对比了太赫兹成像系统的结构.

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