新版洁净室行业国际标准ISO 14644-1-2015的解读与实践

摘要

本文针对新版国际洁净室标准ISO14644-1:2005,结合1400余间洁净室的实际检测结果,对标准修订内容进行了深入的实践与分析.新版ISO标准给予统计分析原理确定洁净度测点数,并根据所有测点最大值判定所测区域是否符合级别要求的做法相比与原标准更为合理和满足洁净室风险控制需求.对于大粒径档控制粒径的选择,应在保证测试结果统计意义的前提下,采用尽可能大的粒径档进行测试,对于低级别洁净室可沿用5.0μm粒径档测试,但对于ISO5级及以上级别的高级别洁净室,可采用较小的1.0μm档测试.