硅氢氯化法生产三氯氢硅清洁生产评价指标体系

摘要

以国内先进企业的数据为基准值,采用层次分析法建立了由定量和定性两部分评价指标构成的硅氢氯化法生产三氯氢硅的清洁生产评价指标体系,确定了评价指标体系准则层、指标层各定量指标权重值及定性指标分值,介绍了定量评价指标和定性评价指标的考核评分计算方法和三氯氢硅企业清洁生产综合评价指数的计算方法.应用该评价指标体系,对某三氯氢硅生产企业进行了实例评价,结果表明该评价指标体系能较好地反映三氯氢硅企业的清洁生产水平。