LEC法InP单晶生长平/缓放肩工艺中孪晶现象及分析

摘要

本文统计了生长的<100>LEC-InP单晶放肩过程中不同种类孪晶的数量和形态.根据<100>InP晶体上孪晶的延伸方向不同,将孪晶划分为内切孪晶和外切孪晶两种.通过固液界面形貌和形核机理分析了影响两种孪晶的形成的影响因素及形成机理.根据所分析的原因,提出了几条抑制孪晶形核的措施.通过采用减少温度波动,降低放肩时拉速和降温速度等方法,抑制了孪晶的形成,实验连续获得了多个无孪晶的单晶锭.