MoS2基复合薄膜制备及其结构与摩擦学性能的研究

摘要

采用磁控溅射法制备MoS2基复合薄膜,通过X-ray衍射、拉曼光谱对薄膜晶体结构进行表征,利用纳米压入表征薄膜硬度及弹性模量,通过微动摩擦磨损实验分析在大气环境下的摩擦磨损性能.研究结果表明:MoS2薄膜中复合C、Ti元素可显著降低薄膜的摩擦系数和磨损率.其中,MoS2+C+Ti三元复合薄膜硬度达7.43GPa,其弹性模量及弹性恢复量分别为98.1GPa和61.7％.在大气环境下,法向载荷为10N时MoS2+C+Ti薄膜具有最低的磨损率4.67×10-17m3/N·m.