亚微米尺寸金属电极的制备工艺研究

摘要

亚微米尺寸金属电极在HEMT等半导体电子学器件中有重要的应用,是器件制作中的关键工艺，对器件性能有着重要影响.本文针对HEMT等半导体器件制备需求,开发了双层光刻胶电子束曝光工艺，制备出了长度为亚微米量级的金属电极，这为制备高性能半导体电子学器件打下了坚实基础。