分子泵压比计算方法选择

摘要

本文采用霍尔威克分子泵理论和蒙特卡洛直接模拟两种方法计算了分子泵压比,并且对两种方法的计算结果进行了对比,结果发现两种方法计算结果有所不同.并且发现分子泵压比与气流速度密切相关,与分子泵附近工作介质也有关系.分子泵附近工作介质气流特点、稀薄程度不同,应该采用不同方法计算分子泵压比.

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