微纳线阵焦点射线源的点阵列靶及加工方法

摘要

微纳尺寸的点阵列靶是微纳线阵焦点射线源的关键部件,由于点阵列靶结构特殊,几何尺寸小,精度要求高,因此点阵列靶的制作方法和加工工艺是开发微纳线阵焦点射线源的主要难点和重点之一.微机械加工方法有很多,如:光刻法、电镀法、飞秒激光蚀刻法、聚焦离子束法(FIB法)、LIGA法等,根据点阵列靶的加工要求,分析比较了这些加工方法的优缺点,为进一步研究点阵列靶的制作方法和加工工艺奠定了基础.