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低温CVD沉积固态源共扩散制备N-PERT电池的P+发射极层和N+背场

摘要

介绍了N-PERT电池和固态源共扩散简介现行硼磷扩散工艺与固态源共扩散的对比固态源扩散P+和N+层实验结果结论N-PERT电池简介结构简单,与P型结构类似.双面发电,单位面积发电量高.适用的N型硅片范围广.设备工艺与P型电池兼容性高.

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