超精密工作台中气浮轴承的跨流区润滑研究

摘要

随着超精密工作台中气浮轴承定位精度要求的不断提升及其应用领域的不断扩展,基于雷诺方程的传统方法已不足以描述气浮轴承内可能存在的高Kn数流、旋涡流、非稳态湍流等复杂流动现象;实验测量手段方面,传统的开孔逐点测量方式干扰大、准确性差,成为制约超精密气浮轴承实验研究的瓶颈.本项目旨在研究超精密气浮轴承中的跨流区复杂气体润滑行为,为超精密工作台中气浮轴承研究及应用提供理论基础和新的实验研究手段.