离子色谱法测定蚀刻后废氢氟酸中的氟硅酸含量

摘要

本实验采用930离子色谱仪,电导串联紫外检测器,柱后衍生测定废氢氟酸中的六氟硅酸.六氟硅酸在碱性淋洗液体系完全分解转化为硅酸,硅酸经过柱后衍生反应,在360nm波长进行检测.色谱条件:色谱柱Metrosep A Supp16-250/4.0mm,Metrosep A Supp16Guard保护柱,淋洗液:5.5mmol·L-1Na2CO3+2.5mmol·L-1NaHCO3的水溶液.六氟硅酸的标准曲线线性相关系数r＞0.999,本方法还可以同时电导检测测定废氢氟酸中的盐酸、硝酸、磷酸和硫酸的含量.