氧化铬薄膜的高温相变、元素扩散及宽温域自润滑性能

摘要

多弧离子镀制备的原始薄膜结晶度低，脆性大，磨损失效以脆性裂纹导致的断裂和剥落为主。高温退火处理均可有效提高薄膜的结晶度，改善薄膜的韧性，显著降低薄膜的磨损率1000℃高温下，基体中Ti和Cr原子沿着晶界扩散全薄膜表面，并与空气中的氧反应形成由Cr203和Cr2Ti7O17组成的类网状凸起结构类网状凸起结构赋予薄膜优异的盍温域摩擦学性能。宽温域下摩擦系数可以保持在0.3以下，磨损率保持在一定量级，可以保持多个热循环不变元素扩散机制（试验与模拟相结合）、扩散主动控制、宽温域自润滑机制的影响。